光学镀膜技术
- 更新时间间隔：2020-09-22 14:51
【内容梗概介绍】 熊猫体育 拥有电子束蒸发（E-Beam）、离子束辅助沉积（IAD）、磁控溅射（Sputtering）和离子束溅射（IBS）等镀膜技术，能够针对产品的实际应用需求，为客户制订最经济有效的镀膜方案。
光学镀膜技术
【概述描叙】 熊猫体育 拥有电子束蒸发（E-Beam）、离子束辅助沉积（IAD）、磁控溅射（Sputtering）和离子束溅射（IBS）等镀膜技术，能够针对产品的实际应用需求，为客户制订最经济有效的镀膜方案。
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熊猫体育
拥有电子束蒸发（E-Beam）、离子束辅助沉积（IAD）、磁控溅射（Sputtering）和离子束溅射（IBS）等镀膜技术，能够针对产品的实际应用需求，为客户制订最经济有效的镀膜方案。
这四种镀膜技术各有特点，下表列举了这些技术对各类指标的影响：
|
标准 |
微电子束挥发 |
亚铁离子束引导沉淀 |
磁控溅射 |
亚铁离子束溅射 |
|
沉积物传输速率 |
约10 Å/sec |
约10 Å/sec |
约5 Å/sec |
约3 Å/sec |
|
每炉镀制户型面积 |
1256~4400cm2 | 1256~4400cm2 | > 4400cm2 | 650~1250cm2 |
|
抗脉冲激光磨损阀值 |
约5 to 30 J/cm2, 20ns |
约5 to 30 J/cm2, 20ns |
约10 J/cm2, 20ns |
>40 J/cm2, 20ns |
|
吸取 |
>100ppm | >50~100ppm | <50ppm | <2ppm |
|
很大膜数层量 |
约40 |
约60 |
约100 |
约200 |
|
外面很糙度 |
<10Å RMS | <8Å RMS | <5Å RMS | <1Å RMS |
|
高密度性 |
多孔 |
密切协作 |
紧密 |
特别高密度 |
|
粘紧度/抗磨花 |
低 |
好 |
更加好 |
非常好 |
|
平均温度漂移 |
更大 |
较小 |
特小 |
可以说无 |
|
内压力 |
<20MPa | <50MPa | <100MPa | <100MPa |
上一场个:
无
下另一个:
超润滑生产加工技木
两个个:
无
下一名:
超光滑处理工艺
